橢圓偏光儀
管理人員: 王玄同
位置: 關鍵中心大樓 四樓 R CO-4D
聯絡方式:
wsht0221@gate.sinica.edu.tw
儀器功能簡介
主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率及消光係數等相關資訊，本中心的橢圓偏光儀可依軟體設定，自動改變入射角度，而能一次量測多個入射角，增加分析準確度，為一快速又準確的檢測工具。
服務內容
1.量測透明薄膜厚度
2.其他參數量測，如：表面粗糙度、多層膜厚及分散係數等
3.可連續監測參數，快速掃描8種波長之分析報告參數分析，媲美光譜儀