量子光電精密分析與前瞻製程設施

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設施簡介
量子光電技術是未來光量子運算、量子通訊與量子感測的基礎。本核心設施專注於量子光電技術,致力光量子運算、量子通訊與量子感測等應用。配備低溫磁光系統、皮秒雷射、紅外超導單光子偵測器、拉曼光譜、原子力顯微鏡、原子層沉積(ALD)、原子層蝕刻(ALE)、無光罩曝光模組及真空探針系統等先進設備,支持高亮度、高效率單光子光源及高靈敏、低雜訊超導單光子偵測器的開發,為未來的光量子科技奠定基礎。

服務內容:
1.自行操作: 須經儀器管理人教育訓練與資格認證,認證後可預約自行操作,並需負責儀器安全。
2.委託操作: 由儀器管理人代操作儀器
3.教育訓練與資格認證

服務時間:
•週一至週五9:00~18:00,國定例假日除外。
•教育訓練、實作及認證請先與儀器管理人員預約時間。

聯絡資訊:
*紀秉夆 博士 binbincookie@gate.sinica.edu.tw,062167707
*陳伯珠 小姐 pearlchen@gate.sinica.edu.tw, 062167709
*陳信文 先生 qws5718340@gate.sinica.edu.tw, 062167707
使用規則

中研院關鍵議題中心—量子光電精密分析與前瞻製程設施
『儀器設施使用/預約管理辦法』

2024/10/24 訂定 

一、儀器使用權限:通過安全講習並取得儀器認證核可後,始能有儀器使用權限。

二、儀器使用申請流程

  1. 初次預約者,請先至下方「儀器預約系統」申請帳號,並於本實驗室連結之『中央研究院關鍵議題中心-量子光電精密分析與前瞻製程設施使用申請表』填寫資料申辦。
  2. 完成一般安全衛生及化學品危害之安全講習,並取得時數證明。
  3. 與儀器管理人員預約儀器教育訓練、實作及認證。(請於報到時,繳交安全講習通過之時數證明)
  4. 通過安全講習暨儀器認證考核後,即可至「儀器預約系統」預約擬使用時段。

預約系統使用說明,請參閱:自行操作-預約設備簡要說明、委託操作-申請案件簡要說明
入口指引: 中央研究院/行政單位/學術及儀器事務處/儀器服務/預約系統

三、儀器認證考核

  1. 須依機台屬性完成教育訓練、實作及認證考核之完整流程,重新認證者除外;若使用者對某儀器已具有一定之熟練度,可向儀器管理人員直接報名認證。
  2. 各儀器之認證考核辦法,請詳閱:量子光電儀器操作規範及考核辦法
  3. 通過儀器認證考核後,即開放該儀器預約及使用權限。

四、儀器預約及使用規範

  1. 未考核通過儀器設備認證者,禁止操作儀器。允許未通過認證考核者使用儀器,將取消其儀器認證及當次預約儀器使用之權限。
  2. 預計使用儀器前一個月內即可線上預約。
  3. 儀器設施經預約成功後,若因故無法到場自行操作請務必於三天前上預約系統取消預約時段。超過三次預約不到者,取消其預約使用權。
  4. 凡預約者,需準時到達使用,若遲到三十分鐘,取消該時段預約權。
  5. 每次使用儀器前,請詳閱「儀器標準操作程序(SOP)」,使用儀器請完全依據使用程序,各項使用不得省略步驟。
  6. 使用儀器請詳細填寫「儀器使用紀錄表」,未確實使用記錄表者,一經查獲,取消其使用權。
  7. 若有異常情況發生無法操作時,立刻通知儀器管理人員,並由使用者將異常狀況記載在使用紀錄表上,絕不可任意採取維修行動。
  8. 若是參數有問題請聯絡管理人員,未經允許不得擅自調整儀器之設定。
  9. 圖檔資料請勿使用自帶USB,避免電腦中毒,請使用本實驗室提供之公用USB或雲端儲存。
  10. 儀器使用後請清潔實驗相關垃圾並恢復原狀(可操作狀態),確認儀器有否異常或損壞方可離開。

五、儀器使用權限機制

  1. 為維持使用者對儀器操作之熟練度,本實驗室設定使用權限機制:規定權限時限為一年(以各設備操作規範為主),但連續六個月以上未使用儀器者,將取消該儀器之使用權(通過認證當天起算)。
  2. 本實驗室得視使用者之儀器操作熟悉度情形,暫停或取消其權限,並要求其重新認證或進行儀器再訓練。
  3. 儀器使用權限被取消後,若欲恢復儀器使用權,可再次向儀器管理人員報名認證,如認證通過,即可恢復儀器使用權限。
儀器設備資訊
設備名稱 位置 設施人員
原子層沉積系統 關鍵中心大樓 三樓 R314 陳伯珠
原子層蝕刻系統 關鍵中心大樓 三樓 R314 陳伯珠
桌上型無光罩雷射曝光系統 關鍵中心大樓 三樓 R314 紀秉夆
拉曼光譜分析系統 關鍵中心大樓 三樓 R CO-3E 陳信文
原子力顯微鏡 關鍵中心大樓 三樓 R CO-3E 陳信文
真空變溫探針量測系統 關鍵中心大樓 三樓 R315 紀秉夆
桌上型自動打線機 關鍵中心大樓 三樓 R315 陳伯珠
物理性質量測系統 關鍵中心大樓 三樓 R315 陳伯珠
收費標準
學術界
儀器名稱 自行操作 專人操作 課程費 認證費
原子層沉積系統 不開放 Not Available 3050 TWD/HR (材料費另計 Materials Cost Extra) 不開放 Not Available 不開放 Not Available
原子層蝕刻系統 不開放 Not Available 3600 TWD/HR 不開放 Not Available 不開放 Not Available
桌上型無光罩雷射曝光系統 350 TWD/HR 1050 TWD/HR 500 TWD/TIMES (需參與課程3次 Must Attend The Course 3 Times) 1000 TWD/TIMES
拉曼光譜分析系統 1700 TWD/HR 2500 TWD/HR 1500 TWD/TIMES 1000 TWD/TIMES
原子力顯微鏡 1200 TWD/HR 2000 TWD/HR 1500 TWD/TIMES 1000 TWD/TIMES
真空變溫探針量測系統 500 TWD/HR 1500 TWD/HR 500 TWD/TIMES (需參與課程3次 Must Attend The Course 3 Times) 1000 TWD/TIMES
桌上型自動打線機 125 TWD/HR 375 TWD/HR 2000 TWD/TIMES 1000 TWD/TIMES
物理性質量測系統 450 TWD/HR 1200 TWD/HR 3000 TWD/TIMES 1000 TWD/TIMES


非學術界
儀器名稱 自行操作 專人操作 課程費 認證費
原子層沉積系統 不開放 Not Available 5600 TWD/HR (材料費另計 Materials Cost Extra) 不開放 Not Available 不開放 Not Available
原子層蝕刻系統 不開放 Not Available 12000 TWD/HR 不開放 Not Available 不開放 Not Available
桌上型無光罩雷射曝光系統 700 TWD/HR 2100 TWD/HR 500 TWD/TIMES (需參與課程3次 Must Attend The Course 3 Times) 1000 TWD/TIMES
拉曼光譜分析系統 3400 TWD/HR 5000 TWD/HR 1500 TWD/TIMES 1000 TWD/TIMES
原子力顯微鏡 2400 TWD/HR 4000 TWD/HR 1500 TWD/TIMES 1000 TWD/TIMES
真空變溫探針量測系統 1000 TWD/HR 3000 TWD/HR 500 TWD/TIMES (需參與課程3次 Must Attend The Course 3 Times) 1000 TWD/TIMES
桌上型自動打線機 700 TWD/HR 2100 TWD/HR 3000 TWD/TIMES 1500 TWD/TIMES
物理性質量測系統 2500 TWD/HR 5500 TWD/HR 4500 TWD/TIMES 2250 TWD/TIMES
儀器預約系統