量子光電精密分析與前瞻製程設施

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發佈日期 標題
2024-10-31 量子光電:本中心自113年11月1日起,開始對外開放使用「量子光電精密分析與前瞻製程設施」,至今年底為試營運期間不收取使用費,歡迎學術界、業界等多多善加利用。
2024-10-31 量子光電:本院於113年11月9日開放一般民眾參觀,屆時院內有許多活動,邀請大家一起共襄盛舉。量子光電:點亮未來的科技魔法活動,採現場報名,歡迎大家與我們一起來互動體驗喔!
設施簡介
量子光電技術是未來光量子運算、量子通訊與量子感測的基礎。本核心設施專注於量子光電技術,致力光量子運算、量子通訊與量子感測等應用。配備低溫磁光系統、皮秒雷射、紅外超導單光子偵測器、拉曼光譜、原子力顯微鏡、原子層沉積(ALD)、原子層蝕刻(ALE)、無光罩曝光模組及真空探針系統等先進設備,支持高亮度、高效率單光子光源及高靈敏、低雜訊超導單光子偵測器的開發,為未來的光量子科技奠定基礎。

服務內容:
1.自行操作: 須經儀器管理人教育訓練與資格認證,認證後可預約自行操作,並需負責儀器安全。
2.委託操作: 由儀器管理人代操作儀器
3.教育訓練與資格認證

服務時間:
•週一至週五9:00~18:00,國定例假日除外。
•教育訓練、實作及認證請先與儀器管理人員預約時間。

聯絡資訊:
*紀秉夆 博士 binbincookie@gate.sinica.edu.tw,
*陳伯珠 小姐 pearlchen@gate.sinica.edu.tw, 062167709
*王詩庭 小姐 wshihyin@gate.sinica.edu.tw, 062167707
使用規則

中研院關鍵議題中心—量子光電精密分析與前瞻製程設施
『儀器設施使用/預約管理辦法』

2024/10/24 訂定 

一、儀器使用權限:通過安全講習並取得儀器認證核可後,始能有儀器使用權限。

二、儀器使用申請流程

  1. 初次預約者,請先至下方「儀器預約系統」申請帳號,並於本實驗室連結之『中央研究院關鍵議題中心-量子光電精密分析與前瞻製程設施使用申請表』填寫資料申辦。
  2. 完成一般安全衛生及化學品危害之安全講習,並取得時數證明。
  3. 與儀器管理人員預約儀器教育訓練、實作及認證。(請於報到時,繳交安全講習通過之時數證明)
  4. 通過安全講習暨儀器認證考核後,即可至「儀器預約系統」預約擬使用時段。

預約系統使用說明,請參閱:自行操作-預約設備簡要說明、委託操作-申請案件簡要說明
入口指引: 中央研究院/行政單位/學術及儀器事務處/儀器服務/預約系統

三、儀器認證考核

  1. 須依機台屬性完成教育訓練、實作及認證考核之完整流程,重新認證者除外;若使用者對某儀器已具有一定之熟練度,可向儀器管理人員直接報名認證。
  2. 各儀器之認證考核辦法,請詳閱:量子光電儀器操作規範及考核辦法
  3. 通過儀器認證考核後,即開放該儀器預約及使用權限。

四、儀器預約及使用規範

  1. 未考核通過儀器設備認證者,禁止操作儀器。允許未通過認證考核者使用儀器,將取消其儀器認證及當次預約儀器使用之權限。
  2. 預計使用儀器前一個月內即可線上預約。
  3. 儀器設施經預約成功後,若因故無法到場自行操作請務必於三天前上預約系統取消預約時段。超過三次預約不到者,取消其預約使用權。
  4. 凡預約者,需準時到達使用,若遲到三十分鐘,取消該時段預約權。
  5. 每次使用儀器前,請詳閱「儀器標準操作程序(SOP)」,使用儀器請完全依據使用程序,各項使用不得省略步驟。
  6. 使用儀器請詳細填寫「儀器使用紀錄表」,未確實使用記錄表者,一經查獲,取消其使用權。
  7. 若有異常情況發生無法操作時,立刻通知儀器管理人員,並由使用者將異常狀況記載在使用紀錄表上,絕不可任意採取維修行動。
  8. 若是參數有問題請聯絡管理人員,未經允許不得擅自調整儀器之設定。
  9. 圖檔資料請勿使用自帶USB,避免電腦中毒,請使用本實驗室提供之公用USB或雲端儲存。
  10. 儀器使用後請清潔實驗相關垃圾並恢復原狀(可操作狀態),確認儀器有否異常或損壞方可離開。

五、儀器使用權限機制

  1. 為維持使用者對儀器操作之熟練度,本實驗室設定使用權限機制:規定權限時限為一年(以各設備操作規範為主),但連續六個月以上未使用儀器者,將取消該儀器之使用權(通過認證當天起算)。
  2. 本實驗室得視使用者之儀器操作熟悉度情形,暫停或取消其權限,並要求其重新認證或進行儀器再訓練。
  3. 儀器使用權限被取消後,若欲恢復儀器使用權,可再次向儀器管理人員報名認證,如認證通過,即可恢復儀器使用權限。
儀器設備資訊
設備名稱 位置 設施人員
原子層沉積系統 關鍵中心大樓 三樓 R314 陳伯珠
原子層蝕刻系統 關鍵中心大樓 三樓 R314 陳伯珠
桌上型無光罩雷射曝光系統 關鍵中心大樓 三樓 R314 紀秉夆
拉曼光譜分析系統 關鍵中心大樓 三樓 R CO-3E 王詩庭
原子力顯微鏡 關鍵中心大樓 三樓 R CO-3E 王詩庭
真空變溫探針量測系統 關鍵中心大樓 三樓 R315 紀秉夆
桌上型自動打線機 關鍵中心大樓 三樓 R315 陳伯珠
物理性質量測系統 關鍵中心大樓 三樓 R315 陳伯珠
收費標準
學術界
儀器名稱 自行操作 專人操作 課程費 認證費
原子層沉積系統 不開放 Not Available 待定 To Be Announced 不開放 Not Available 不開放 Not Available
原子層蝕刻系統 不開放 Not Available 待定 To Be Announced 不開放 Not Available 不開放 Not Available
桌上型無光罩雷射曝光系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
拉曼光譜分析系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
原子力顯微鏡 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
真空變溫探針量測系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
桌上型自動打線機 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
物理性質量測系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced


非學術界
儀器名稱 自行操作 專人操作 課程費 認證費
原子層沉積系統 不開放 Not Available 待定 To Be Announced 不開放 Not Available 不開放 Not Available
原子層蝕刻系統 不開放 Not Available 待定 To Be Announced 不開放 Not Available 不開放 Not Available
桌上型無光罩雷射曝光系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
拉曼光譜分析系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
原子力顯微鏡 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
真空變溫探針量測系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
桌上型自動打線機 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
物理性質量測系統 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced 待定 To Be Announced
儀器預約系統