探針式表面輪廓儀
管理人員: 王玄同
位置: 關鍵中心大樓 四樓 R CO-4D
聯絡方式:
wsht0221@gate.sinica.edu.tw
儀器功能簡介
探針掃過樣品表面，電容式感測器將探針機械變化量轉換為電訊號，以表徵樣品表面形貌。主要用於樣品台階測量，表面應力表徵。
服務內容
薄(厚)膜的厚度、表面輪廓、粗糙度測量。
表面微結構之三維表面輪廓測量
薄膜應力測量與分析