四點探針電阻量測儀
管理人員: 高筠筑
位置: 關鍵中心大樓 四樓 R CO-4D
聯絡方式:
virginia1014@gate.sinica.edu.tw
儀器功能簡介
運用四點探針測量原理，量測各式片狀、塊狀之導體、半導體材料以及導電薄膜之薄膜電阻(Sheet Resistance，又稱薄層電阻、片電阻)。搭配高精度的自動四點探針台，可自動下針並且控制下針的微力，可輕易量得材料之薄膜阻抗，並廣泛運用於半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產業上。
服務內容
可以經由輸入薄膜厚度、試片大小，即可量測待測物之電阻值 Resistance
1.片電阻率 Sheet resistivity
2.體電阻率 Volume resistivity
3.電導率 Conductivity