掃描式電子顯微鏡
管理人員: 陳澤彬
位置: 關鍵中心大樓 四樓 R CO-4C
聯絡方式:
cbr871231@gate.sinica.edu.tw
儀器功能簡介
1.可以二次電子(SE)偵測固體材料試片的表面型態。 2.背向式電子（BSE）提供試片COPO、TOPO及3D型態影像。 3.低真空環境試片拍攝，真空值可調整為1~270Pa。 4.能量散佈光譜儀主要偵測試片表面的元素分析，可提供的資訊為： （a）元素半定量分析，分析元素範圍B(5)~U(92)。 （b）點線面半定量/定性分析。 （c）材料表面元素分布分析(Mapping)。
服務內容
1.二次電子影像觀察。 2.背向式電子影像觀察。 3.元素定性、半定量分析(B(5)~U(92))及Mapping及Line scan。 4.影像光碟製作。 5.試樣鍍金。