英國Oxford instrument自動化拉曼光譜分析儀，配備自動化校正、對焦模組，並搭配波長532 nm雷射進行拉曼光譜量測。此外，此系統搭配了三種不同的光柵，可供使用者依照實驗需求進行即時切換。樣品台可放置的晶圓尺寸最大可至6吋，並搭配光譜儀座標系統，可讓使用者快速定位量測點位。在量測拉曼光譜積分圖時，系統搭配了主動式自動對焦模組，透過一鍵開關，並可在大範圍量測下，維持對焦，確保量測不失真。本系統搭配的光柵與雷模組，使得拉曼光譜最好的解析度可至0.4 cm^-1，有助於使用者在材料分析上更進一步的理解與探索。

廠牌/型號：WITec / alpha300 apyron

本系統使用532 nm雷射，提供高解析拉曼/螢光 (Raman/PL) 光譜分析，可針對不同樣品提供高解析大範圍2D/3D拉曼/螢光 (Raman/PL) 圖像掃描分析。