Probe Station是專為半導體電子材料和二維材料元件的電性量測（如I-V、C-V）設計。配備溫控系統，可進行溫度調節，有助於分析電子元件的可靠性和電性機制。提供兩組變溫量測環境，覆蓋範圍分別是4K~300K和6K~600K。這兩組環境與兩套Agilent B1500A半導體參數分析儀相對應，可在超高真空環境（5E-6 torr以下）進行元件分析。配置最多四端點元件的同時量測。透過Agilent B1500A半導體參數分析儀，可在不同溫度條件下評估元件的特性和可靠性，進一步深入理解其背後的物理機制，使得此系統成為分析材料和元件電性特性不可或缺的利器。整個量測過程由Agilent DesktopEasyExpert量測軟體自動控制，提供便利及高效的量測功能。

提供多種高解析測量： 1. HRSMU × 4：提供最小1 fA/ 0.5 μV的解析度，最大200 V/1 A。靜態電容電壓測量及500 μs脈衝寬度測量，時域取樣速度達100 µs。 2. B1520A多頻電容測量單元 (MFCMU)： 支援1 kHz至5 MHz的頻率範圍，最小解析度1 mHz。具備25 V直流偏壓功能，可與SMU配合進行高解析測量。 3. B1525A高壓半導體脈衝產生單元（HV-SPGU）： 提供±40 V高壓輸出，支援任意波形生成，解析度10 ns。適用於半導體元件和非揮發性記憶體可靠度測試。 本設備適用MOSFETs、二極管、RRAM等元件的I-V和C-V測量。