原子層沉積系統/原子層蝕刻系統 一般訓練課程圓滿結束

本實驗室於5月23日舉辦6小時原子層沉積系統/原子層蝕刻系統訓練課程，由原廠工程師授課。

內容:上午進行牛津儀器系統、硬體與軟體操作及製程參數介紹；下午則安排實機操作，實作內容包含 ALD 薄膜沉積、ALE 蝕刻流程及基本除錯教學，學員透過實作獲得紮實的操作經驗。