(a) 氮化鈦薄膜及微波共振腔;(b) 超導奈米線單光子偵測器;(c) 氮化矽/氧化矽之室溫單光子光源 (a) 氮化鈦薄膜及微波共振腔;(b) 超導奈米線單光子偵測器;(c) 氮化矽/氧化矽之室溫單光子光源